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輪廓/膜厚測量
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橢偏儀:超薄膜的實時可視化分析測試,實時觀察樣品微觀尺度上的結構??梢詼y量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數等參數。也可以對薄膜進行區域化(選區)分析,獲得所選區域的成像分析圖。
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