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    橢偏儀

    簡要描述:橢偏儀:超薄膜的實時可視化分析測試,實時觀察樣品微觀尺度上的結(jié)構(gòu)。可以測量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)。也可以對薄膜進行區(qū)域化(選區(qū))分析,獲得所選區(qū)域的成像分析圖。

    • 產(chǎn)品型號:Nanofilm_EP4

    詳細介紹

    品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
    應(yīng)用領(lǐng)域綜合

    橢偏儀

    超薄膜的實時可視化分析測試,實時觀察樣品微觀尺度上的結(jié)構(gòu)??梢詼y量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)。也可以對薄膜進行區(qū)域化(選區(qū))分析,獲得所選區(qū)域的成像分析圖。

    橢偏儀產(chǎn)品特點

    a 自動消光型橢偏分析技術(shù)和傳統(tǒng)的顯微鏡技術(shù)結(jié)合,可視化實時圖像橢偏分析,橫向(X/Y方向)分辨率優(yōu)于1μm

    a 實時橢偏對比度圖像,實時視頻圖像分析。樣品的所有微結(jié)構(gòu)、缺陷、污染和動態(tài)變化過程都將一覽無余。

    a 全畫幅聚焦技術(shù)解決了斜角入射導致的全畫幅聚焦問題,適用于動態(tài)原位分析測試,如自組裝單分子層的生長和移動、蛋白質(zhì)相互作用和水面單分子層的漂移等。

    a 光斑切割技術(shù),真正實現(xiàn)超薄透明基底上薄膜的無背底反射橢偏測試。

    基礎(chǔ)參數(shù)


    樣品對準

    探測Z方向的位置和傾斜,傾轉(zhuǎn)軸探測精度:0.001°,Z向精度:1μm

    儀器對準

    光學系統(tǒng)角度傾轉(zhuǎn)調(diào)整,獨立于樣品位置,傾轉(zhuǎn)軸探測精度:0.001°

    Z軸升降系統(tǒng)

    行程范圍:>100mm,可重復性:lμm

    光源

    低氙弧燈激光光源,噪聲低至0.1%,長壽命10000小時;

    可選單波長激光光源或200-2000nm連續(xù)波長光源;

    提供250-1700nm光柵單色器,中段波長精度<1nm,帶寬5/6/12nm;

    可選光斑切割照明模塊,實現(xiàn)透明基底薄膜的無背底反射干擾測量;

    光學成像系統(tǒng)

    聚焦掃描系統(tǒng),在變角度測量時(<80°)實現(xiàn)實時圖像,兼容所有物鏡,橫向分辨率<1μm;

    全畫幅聚焦圖像/實時視頻,橫向分辨率2μm,工作入射角:52°~57°;

    探測器

    單色千兆網(wǎng)(GigE)CCD相機,波長:360nm-1000nm,1392×1040 px,12位,40幀/秒;

    可選近紅外(NIR)探測相機和紫外線(UV)探測相機;

    可選多相機匹配及切換系統(tǒng);

    物鏡

    2×-50×物鏡;

    UV/IR物鏡;

    自動轉(zhuǎn)角儀

    入射角范圍:38°-90°,分辨率:0.001°,角精度:0.01°,轉(zhuǎn)動速度:-5°/秒

    Z軸自動升降系統(tǒng)

    行程:12cm,可重復性:1μm,分辨率0.5μm

    拓展附件

    表面等離子共振(SPR)單元,固/液界面分析單元,光導液/液界面分析單元,微流控分析單元,溫度控制單元,電化學分析單元等

    聯(lián)用技術(shù)

    AFM、石英晶體微天平、反射光譜儀、拉曼光譜儀、白光干涉儀等





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