探針式輪廓儀（臺階儀）

簡要描述：探針式輪廓儀（臺階儀）源自AFM的光學杠桿技術，精確測量臺階高度及表面輪廓。

產品型號：D500 /D600

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輪廓/膜厚測量

原子力顯微鏡橢偏儀光學輪廓儀探針式輪廓儀（臺階儀）

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品牌	其他品牌	價格區間	20萬-35萬
產品種類	接觸式輪廓儀/粗糙度儀	產地類別	進口
應用領域	綜合

探針式輪廓儀（臺階儀）Alpha-Step D500 /D600采用新型光學反射探測系統測量高度，同時應用電磁力控制探針壓力，能有效實現超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術的優點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調節和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。

探針式輪廓儀（臺階儀）應用范圍:

1.2D/3D 表面形貌掃描

2.納米至1200μm臺階高度測量

3.粗糙度和波紋度測量

4.樣品翹曲和曲率半徑測量

5.2D薄膜應力測量

探針式臺階儀\探針式輪廓儀技術特點:

1.優秀的重復性和再現性

2.接觸式測量，適用于多種材料

3.測量軟材料的微力控制

4.梯形失真校正可消除側視視圖造成的失真

5.弧形校正補償探針的弧形運動

型號	D500	D600
臺階高度	5nm~1200μm
分辨率	0.38Å
重復性	5Å（1μm臺階）
載力范圍	0.03mg~15mg
視頻	5MP高分辨彩色相機
樣品臺	140mm手動XY軸，Z軸自動	200m三軸自動
單次掃描	30mm	55mm
圖像拼接	80mm	200mm
梯形失真校正	消除側視視圖造成的失真
弧形校正	消除探針的弧形運動引起的誤差
掃描模式	2D		2D/3D

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